韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。
应用：
所有工业/气体混合及分析/注气、表面加工行业（PVC,CVD,反应器等）/半导体工业/部件泄露检测/产品研究和开发/高压行业/光纤/燃料电池/反应器系统/气体的混合系统
优势：
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高压（95公斤）
l 快速响应时间（＜1秒）
l 高重复性（±0.25%F.S)
规格：
型号
M2100V/A
流量范围（N2)
30~100 slpm
响应时间
＜2秒
精确度
±1%
重复精度
±0.25%
输入输出信号
0~5Vdc or 4~20mA
供电
+15Vdc or +24Vdc,350mA
最大工作压力
30~1000 psia
最大工作温度
0~50℃
漏率
1×10-9atm.cc/sec
控制范围
2~100%